Angewandte Physikalische Chemie

Electron microscopy - Biophysical Chemistry - Nanotechnology - Nanopatterning - Semiconductor Manufacturing Technology

Daniel Rhinow ist außerplanmäßiger Professor am Fachbereich Chemie der Philipps-Universität Marburg. Einer seiner Schwerpunkte ist die Elektronenmikroskopie mit besonderem Fokus auf der Entwicklung neuer Technologien und Methoden und ihrer Anwendung zur Analyse und Bearbeitung von Nanosystemen. Dabei legt er besonderen Wert auf interdisziplinäres Verständnis physikalisch-chemischer Prozesse und Methoden.

Als Senior Expert R&D bei der Carl Zeiss SMT GmbH arbeitet Daniel Rhinow an der Entwicklung neuer Technologien für die Halbleiterindustrie. Im Fokus stehen dabei Elektronenstrahl-basierte Systeme zur Reparatur von Photomasken. Diese Maskenreparatur-Systeme spielen eine wichtige Rolle bei der Chipherstellung, denn Photomasken sind sehr teuer in der Herstellung und müssen absolut fehlerfrei sein. Partikel oder nanoskalige Defekte auf der Oberfläche der Maske würden sich nach der Belichtung auf den hergestellten Chips wiederfinden. Mit Elektronenstrahl-basierten Systemen gelingt es, Defekte auf Photomasken zu entfernen und dadurch die Lebensdauer dieser teuren optischen Elemente signifikant zu verlängern.

In seinen Vorlesungen vermittelt Daniel Rhinow Studierenden des Masterstudiengangs Chemie, wie Elektronen- und Ionenmikroskopie zur Beantwortung chemischer Fragestellungen angewendet werden können.