Die Servicegruppe Elektronenmikroskopie verfügt über mehrere Rasterelektronenmikroskope unterschiedlicher Ausstattung.
Tescan Vega 3 SBU. Das Tescan Vega 3 SBU ist mit einem Everhart-Thornley-Detektor, einem Rückstreuelektronendetektor (BSE) und einem EDX-Detektor (EDAX Element) ausgestattet und erlaubt SEM-Aufnahmen mit einer Auflösung von bestenfalls 3 nm. Letzteres ist abhängig von den Probeneigenschaften. Eingesetzt wird das Mikroskop in Forschung und Lehre.
Zeiss Crossbeam 550 FIB-SEM. Als zweites SEM betreibt die Serveabteilung ein 2020 angeschafftes FIB-SEM Zeiss Crossbeam 550. Dieses ist mit einer ganzen Reihe an Zusatzgeräten und Detektoren ausgestattet: Everhart-Thornley-Detektor Inlens SE-Detektor BSE-Detektor Inlens BSE-Detektor STEM-Detektor Oxford Ultim-Max-EDX Oxford Ultim-Extrem-EDX Platin- und Kohlenstoff-GIS Schottky-Emitter Die nominelle Ortsauflösung beträgt 1,27 Å, dieser Wert wird bestenfalls auf dafür hergestellten Standardproben erreicht.
Jeol 7500F Feldemissions-SEM. 2006 wurde als erstes SEM des Fachbereichs dieses SEM angeschafft. Als Besonderheit verfügt es über einen kalten FEG Elektronenemitter und erlaubt damit sehr hohe Auflösung, zudem ist es mit einem Gatan Cryo-Transfersystem ausgestattet. Ausstattung: gekühlter FEG-Emitter Everhart-Thornley-Detektor YAG-BEI Detektor für Rückstreuelektronen STEM-Detektor Kryopräparationssystem Gatan Alto 2500 Transfersystem Kühlfalle Van der Heijden Kühlmobil IR-Kamera für die Probenkammer. Die Auflösung beträgt 1 nm. Aktuell ist das System leider wegen eines Fehlers im Vakuumsystem nicht nutzbar (Stand 25.4.25).
