Die Servicegruppe Elektronenmikroskopie verfügt über mehrere Rasterelektronenmikroskope unterschiedlicher Ausstattung.
Tescan Vega 3 SBU. Das Tescan Vega 3 SBU ist mit einem Everhart-Thornley-Detektor, einem Rückstreuelektronendetektor (BSE) und einem EDX-Detektor (EDAX Element) ausgestattet und erlaubt SEM-Aufnahmen mit einer Auflösung von bestenfalls 3 nm. Letzteres ist abhängig von den Probeneigenschaften. Eingesetzt wird das Mikroskop in Forschung und Lehre.
Zeiss Crossbeam 550 FIB-SEM Als zweites SEM betreibt die Serveabteilung ein 2020 angeschafftes FIB-SEM Zeiss Crossbeam 550. Dieses ist mit einer ganzen Reihe an Zusatzgeräten und Detektoren ausgestattet: Everhart-Thornley-Detektor Inlens SE-Detektor BSE-Detektor Inlense BSE-Detektor STEM-Detektor Oxford Ultim-Max-EDX Oxford Ultim-Extrem-EDX Platin- und Kohlenstoff-GIS Schottky-Emitter Die nominelle Ortsauflösung beträgt 1,27 Å, Wert wird bestenfalls auf dafür hergestellten Standardproben erreicht.
